感应耦合等离子体硅深刻蚀系统
2009-5-27 阅读数：
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仪器名称 |
感应耦合等离子体硅深刻蚀系统 |
型 号 |
ICP180 |
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仪器编号 |
Z4075 |
仪器来源 |
购置 |
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生产厂商 |
牛津仪器等离子技术公司 |
启用日期 |
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仪器类别 |
工艺实验设备-加工工艺实验设备 |
仪器原值 |
4161151.2 |
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所在单位部门 |
中科院合肥智能机械研究所—仿生感知与控制研究中心 |
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仪器负责人 |
倪林 |
联系电话 |
0551-5592555 |
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地 址 |
安徽省合肥市蜀山湖路350号 1130信箱 |
邮 编 |
230031 |
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E-mail |
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主要技术指标 |
刻蚀材料：硅； 刻蚀速率：大于2μm/min； 侧壁陡直度：90±1°； 深宽比：1：25； 硅片尺寸：2~4″，常用为3″； 最大刻蚀浓度：300μm 。 |
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包含主要附件 |
1.分子泵 2.干泵 3.油泵 4.质量流量计 5.射频源等 |
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仪器主要功能 |
用于具有高深宽比的硅微结构加工 |
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仪器服务领域 |
材料、科研教学 |
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计量认证资质 |
否 |
实验室认可 |
否 |
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仪器现状 |
正常 |
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收费标准 |
开机费500元（含50微米），超过50微米按10元/每微米。 |
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仪器图片 |
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